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噴淋式兆聲波清洗噴頭，是以噴嘴的形式對(duì)被清洗物進(jìn)行清洗。其工作原理是將兆聲波換能器嵌入到噴嘴中，使流動(dòng)的水流將兆聲波能量傳送到被清洗物表面，從而達(dá)到清洗的目的。噴淋式兆聲波清洗噴頭的優(yōu)勢(shì)在于它是點(diǎn)對(duì)點(diǎn)直接對(duì)被清洗物表面進(jìn)行處理，可以讓聲能焦點(diǎn)直接接觸被清洗物的表面。相比于槽式兆聲清洗機(jī)，噴淋式兆聲波清洗噴頭的兆聲轉(zhuǎn)換效率更高，而且避免了槽式由于液體深度不同而造成的聲場(chǎng)強(qiáng)度不均的問(wèn)題。另外，由于噴淋式兆聲波清洗噴頭使用的是流動(dòng)的液體，不會(huì)存在有殘留的臟污對(duì)被清洗物造成二次污染的問(wèn)題。

圖1.噴淋式兆聲波清洗噴頭原理示意圖

相對(duì)于批量的半導(dǎo)體晶圓清洗來(lái)說(shuō)，槽式兆聲清洗無(wú)疑是清洗效率更高的選擇。因此為了節(jié)約成本、提高效率，在90-65nm工藝中，通常是以槽式清洗為主。但是對(duì)于槽式兆聲波清洗來(lái)說(shuō)，交叉污染的風(fēng)險(xiǎn)會(huì)比較大，所以在更低線(xiàn)寬的工藝中，由于對(duì)于雜質(zhì)的容忍度更低，單片清洗技術(shù)的占比會(huì)更高。為了避免反復(fù)清洗帶來(lái)的高成本，降低廢品率是晶圓生產(chǎn)中的一個(gè)重要手段。在一個(gè)芯片的生產(chǎn)過(guò)程中清洗工序是重復(fù)進(jìn)行的，晶圓清洗步驟數(shù)量占整個(gè)芯片制造過(guò)程工序的30%以上。而且生產(chǎn)越往后推進(jìn)清洗工序的數(shù)量以及重要性也會(huì)相應(yīng)提升，為了保證良品率，幾乎每道工序都需要進(jìn)行清洗。據(jù)估計(jì)，每月十萬(wàn)片的DRAM工廠(chǎng)，1%的良率提升可為客戶(hù)每年增加3000-5000萬(wàn)美元的利潤(rùn)。

圖2.東方金榮超聲Siansonic的噴淋式兆聲波清洗噴頭清洗半導(dǎo)體晶圓

噴淋式兆聲波清洗噴頭，可以搭配運(yùn)動(dòng)組件來(lái)實(shí)現(xiàn)整個(gè)二維平面的清洗，適合包括半導(dǎo)體晶圓在內(nèi)的各種平面基材的清洗。Siansonic噴淋式兆聲波清洗噴頭全面采用非金屬的防腐材質(zhì)，可適應(yīng)各種酸堿及有機(jī)溶劑，另外采用獨(dú)特的換能器貼合技術(shù)，使其具有更高的穩(wěn)定性和耐久性。北京東方金榮超聲電器有限公司可為各種不同領(lǐng)域的應(yīng)用，提供多種類(lèi)型的兆聲波清洗系統(tǒng)及整體解決方案。