噴淋式兆聲波清洗以噴嘴的形式向被清洗物如晶圓輸送帶有高頻超聲波的清洗液，相比于槽式兆聲波清洗，噴淋式兆聲波清洗兆聲轉(zhuǎn)換效率更高，也可使晶圓表面獲得的兆聲能量場更加均勻。
兆聲清洗振板方便用于槽式兆聲清洗等批量處理晶圓的清洗系統(tǒng)，通過特殊耦合技術(shù)將壓電換能器與石英或?qū)毷袷帉泳_匹配，以向處理槽中發(fā)射均勻高效的兆聲波聲場。
貼合式兆聲清洗是一種吸取了槽式兆聲清洗和噴淋式兆聲清洗兩種兆聲清洗的優(yōu)點并摒棄了二者缺點的更優(yōu)化的兆聲清洗技術(shù)。它可以以相對大的面積將兆聲聲能均勻的傳遞到晶圓表面，具有非常高的傳遞效率和聲場均勻性，同時非常節(jié)省清洗液。
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