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TCO玻璃是一種導(dǎo)電玻璃，主要應(yīng)用在透明導(dǎo)電電極以及高溫電子器件等領(lǐng)域，比如太陽能電池、液晶顯示器、光探測器、窗口涂層等。它的全稱為透明導(dǎo)電氧化物鍍膜玻璃，是在平板玻璃表面通過物理或者化學(xué)鍍膜的方式均勻鍍上一層透明的導(dǎo)電氧化物薄膜，薄膜主要是包括銦（In）、錫（Sn）、鋅（Zn）和鎘（Cd）的氧化物及其復(fù)合多元氧化物的薄膜材料。通常根據(jù)不同的薄膜材料將TCO玻璃進(jìn)行分類，比如，氧化銦錫（ITO）、摻鋁氧化鋅（AZO）、氧化鋅（ZnO）和摻氟氧化物。

圖1.利用超聲噴霧熱解法制備TCO玻璃圖層

在光伏電池應(yīng)用領(lǐng)域，對TCO玻璃的性能要求主要體現(xiàn)在光譜透過率、導(dǎo)電性能和霧度幾個方面。其中導(dǎo)電性能的重要性無需多說，TCO玻璃需要保證一個比較高的光譜透過率是為了能夠充分地吸收利用太陽光，而一定的霧度是為了增加薄膜電池半導(dǎo)體層吸收光的能力，這指的是對透射光的散射能力。和普通玻璃要求更加光滑的表面不同，比如在光伏行業(yè)會要求TCO玻璃表面100-500nm粒徑的顆粒來達(dá)到所要求的霧度水平。

超聲噴霧熱解法是一種利用超聲噴霧熱解技術(shù)制備透明導(dǎo)電氧化物（TCO）納米薄膜的方法。在超聲噴霧熱解過程中，前驅(qū)體溶液被超聲波噴頭均勻霧化成微米級液體顆粒，之后沉積到被加熱的基材上。比如將鋁鋅氧化物的前驅(qū)體溶液噴涂到大約300-500攝氏度的基底上。溶劑在涂覆過程中蒸發(fā)，溶質(zhì)接觸到高溫基材后會迅速發(fā)生熱裂解反應(yīng)并在基材表面生長出ZnO晶體薄膜，基材襯底的溫度通常對于薄膜的形貌起著至關(guān)重要的作用。

超聲噴霧熱解法是一種替代真空沉積和濺射的更加經(jīng)濟高效的鍍膜方法。超聲波噴頭霧化產(chǎn)生的液滴尺寸高度均勻且粒徑可控，在沉積過程中，所有液滴將以相同的方式同時反應(yīng)，在研發(fā)或大批量生產(chǎn)中提供了更為高效的TCO生產(chǎn)過程。超聲噴霧熱解法沉積TCO透明導(dǎo)電氧化物納米薄膜是一種具有廣泛應(yīng)用前景的納米薄膜制備技術(shù)。