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ITO鍍膜玻璃是屬于TCO玻璃的一種導電玻璃，通過在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎上涂覆一層氧化銦錫（ITO）薄膜而來。ITO鍍膜玻璃是一種非常成熟的產(chǎn)品，具有透過率高、膜層牢固以及導電性好等特點，被主要應用于LCD領域，最早是應用在計算器和電子表等設備的電子顯示屏上，隨著電子技術的發(fā)展，ITO玻璃也逐漸在筆記本電腦和新一代液晶顯示器中得到應用。
氧化銦錫是一種由銦、錫和氧組成的化合物，它同時具有光學透明性和導電性，使之成為眾多尖端技術的基石。在不斷發(fā)展的先進材料和技術中，氧化銦錫已經(jīng)成為一種非常重要的化合物。在電子、光學和可持續(xù)能源解決方案等領域，ITO對不同應用產(chǎn)生了深遠的影響。制作ITO鍍膜玻璃需要在玻璃基板上均勻地涂覆上一層氧化銦錫薄膜，同時玻璃基板會保持高度透明并且獲得低電阻。通常，在玻璃基板上涂覆
圖1.超聲波噴涂設備在玻璃圖涂上鍍膜
ITO涂層時必須要在完全真空密閉的環(huán)境中進行，在規(guī)定的溫度下對玻璃基板進行加熱，同時涂覆ITO涂層。超聲波熱解法是通過超聲波將配制成溶液的ITO材料霧化為細小的液體顆粒從而均勻地沉積的玻璃基板上的技術。超聲波霧化保證了液體顆粒的粒徑均勻且尺寸可控，配合高精度供液泵，可以實現(xiàn)幾十納米到幾十微米厚度高度可控的薄膜涂覆。相比較真空沉積和濺射法而言，超聲波熱解法是一種更加經(jīng)濟高效的方法。
目前超聲波熱解法制備ITO玻璃涂層已經(jīng)有了非常成熟的設備。北京東方金榮用于超聲波熱解的超聲波噴涂設備集成了高精度供液系統(tǒng)、超聲波霧化模塊、高溫加熱臺以及伺服運動系統(tǒng)，被廣泛應用于各種納米及亞微米級功能性涂層薄膜的研發(fā)及生產(chǎn)。
